Luận án Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

MỤC LỤC MỞ ĐẦU.1CHƯƠNG 1. ÔXÍT DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT.51.1. Các thông sốcông nghệ đặc trưng của TCO .51.2.Vật liệu ITO và ZnO.101.3.Tính chất quang học của ôxít dẫn điện trong suốt (TCO).12CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU . 282.1. Phương pháp phún xạmagnetron.282.2. Quá trình thực nghiệm và các phép đo.282.3. Xác định các tính chất quang học của màng mỏng ITO và GZO từphổtruyền qua bằng mô hình hàm điện môi .28CHƯƠNG 3. MÀNG MỎNG ITO. 283.1. Giới thiệu.283.2. Xác định tính chất quang học của màng ITO từphổtruyền qua .283.3. Ảnh hưởng của quá trình chếtạo lên tính chất điện và quang của màng ITO trong phương pháp phún xạmagnetron dc.283.4. Cơchếchuyển đổi định hướng ưu tiên của các mặt tinh thểtrong quá trình tăng trưởng màng mỏng ITO.283.5. Tăng cường định hướng tinh thểITO theo mặt (222) dựa trên lớp đệm ZnO và lớp đệm ITO .283.6. Kết luận .28CHƯƠNG 4. MÀNG MỎNG GZO . 284.1. Giới thiệu.284.2. Chếtạo bia gốm dẫn điện GZO.284.3. Sựhình thành ion âm trong phún xạtừbia ZnO pha tạp .284.4. Xác định tính chất quang học của màng GZO từphổtruyền qua.284.5. Ảnh hưởng của quá trình chếtạo lên tính chất điện và quang của màng GZO trong phương pháp phún xạmagnetron RF .284.6. Kết luận .28KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ. 28DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH . 28TÀI LIỆU THAM KHẢO . 28

MỤC LỤC

MỞ ĐẦU.1

CHƯƠNG 1. ÔXÍT DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT.5

1.1. Các thông sốcông nghệ đặc trưng của TCO .5

1.2.Vật liệu ITO và ZnO.10

1.3.Tính chất quang học của ôxít dẫn điện trong suốt (TCO).12

CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU . 28

2.1. Phương pháp phún xạmagnetron.28

2.2. Quá trình thực nghiệm và các phép đo.28

2.3. Xác định các tính chất quang học của màng mỏng ITO và GZO từphổ

truyền qua bằng mô hình hàm điện môi .28

CHƯƠNG 3. MÀNG MỎNG ITO. 28

3.1. Giới thiệu.28

3.2. Xác định tính chất quang học của màng ITO từphổtruyền qua .28

3.3. Ảnh hưởng của quá trình chếtạo lên tính chất điện và quang của màng

ITO trong phương pháp phún xạmagnetron dc.28

3.4. Cơchếchuyển đổi định hướng ưu tiên của các mặt tinh thểtrong quá trình

tăng trưởng màng mỏng ITO.28

3.5. Tăng cường định hướng tinh thểITO theo mặt (222) dựa trên lớp đệm

ZnO và lớp đệm ITO .28

3.6. Kết luận .28

CHƯƠNG 4. MÀNG MỎNG GZO . 28

4.1. Giới thiệu.28

4.2. Chếtạo bia gốm dẫn điện GZO.28

4.3. Sựhình thành ion âm trong phún xạtừbia ZnO pha tạp .28

4.4. Xác định tính chất quang học của màng GZO từphổtruyền qua.28

4.5. Ảnh hưởng của quá trình chếtạo lên tính chất điện và quang của màng

GZO trong phương pháp phún xạmagnetron RF .28

4.6. Kết luận .28

KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ. 28

DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH . 28

TÀI LIỆU THAM KHẢO . 28

TÀI LIỆU LUẬN VĂN CÙNG DANH MỤC

TIN KHUYẾN MÃI

  • Thư viện tài liệu Phong Phú

    Hỗ trợ download nhiều Website

  • Nạp thẻ & Download nhanh

    Hỗ trợ nạp thẻ qua Momo & Zalo Pay

  • Nhận nhiều khuyến mãi

    Khi đăng ký & nạp thẻ ngay Hôm Nay

NẠP THẺ NGAY